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透明襯底技術InGaAlP
發布者:admin 添加時間:2020/5/4 瀏覽次數:728
LED通常是在GaAs襯底上外延生長InGaAlP發光區GaP窗口區制備而成。與InGaAlP相比,GaAs材料具有小得多的禁帶寬度,因此,當短波長的光從發光區與窗口表面射入GaAs襯底時,將被悉數吸收,成為器件出光效率不高的主要原因。在襯底與限制層之間生長一個布喇格反射區,能將垂直射向襯底的光反射回發光區或窗口,部分改善了器件的出光特性。一個更為有效的方法是先去除GaAs襯底,代之于全透明的GaP晶體。由于芯片內除去了襯底吸收區,使量子效率從4%提升到了25-30%。為進一步減小電極區的吸收,有人將這種透明襯底型的InGaAlP器件制作成截角倒錐體的外形,使量子效率有了更大的提高。

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